Форумы ANCHEM.RU: фосфатирование (фосфорирование) кремниевой пластины

Российский химико-аналитический портал

химический анализ и аналитическая химия в фокусе внимания ::: портал химиков-аналитиков ::: выбор профессионалов

карта портала ::: расширенный поиск

ANCHEM.RU » Форумы » 4. Химический форум ...

Форум химиков-аналитиков, аналитическая химия и химический анализ.

фосфатирование (фосфорирование) кремниевой пластины >>>

  Ответов в этой теме: 27
  Страница: 1 2 3
  «« назад || далее »»

[ Ответ на тему ]

chemlab
Пользователь
Ранг: 409

30.11.2010 // 0:26:22

offfday пишет:
А если взять кристаллический P2O5 и какой-нибудь материал в виде производных винила, которые деполимеризуются при повышенной температуре (типа как инертный наполнитель)...только на практике хз как это применить...

Может лучше растворить фосфор в абс. этаноле?

ANCHEM.RU
Администрация
Ранг: 246

DSP007
VIP Member
Ранг: 2228

30.11.2010 // 11:43:55

Ага, и получить на выходе аццкую самовоспламеняющуюся жидкость. И я сильно не уверен что красный фосфор в этаноле раствориться. а белый фосфор ничем не лучше фосфина, от которого они хотят уйти.

Насчет силоксанов- ну если Вам углерод не помешает- почему бы нет?

chemlab
Пользователь
Ранг: 409

30.11.2010 // 15:51:18

DSP007 пишет:
Ага, и получить на выходе аццкую самовоспламеняющуюся жидкость. И я сильно не уверен что красный фосфор в этаноле раствориться. а белый фосфор ничем не лучше фосфина, от которого они хотят уйти.
Насчет силоксанов- ну если Вам углерод не помешает- почему бы нет?

Если у Вас под рукой есть кусочек красного фосфора, 3-5 мл абс. этанола и пробирка, можете воочию убедиться, что фосфор, таки растворяется в спирте и не самовозгорается. Его растворимость отмечена также в кн. Рабинович В.Я. Краткий химический справочник, стр. 109. О белом фосфоре речи нет

Насчет силоксанов. Углерод при 1000 градусах весь выгорит, если греть на воздухе, но останется кремний в виде SiO2, его не испаришь

offfday
Пользователь
Ранг: 13

30.11.2010 // 23:27:49

quote]Может лучше растворить фосфор в абс. этаноле?

Жидкий раствор не пойдет...если пластину просто окунуть в раствор или капнуть пипеткой и растянуть по пластине, после испарения растворителя на поверхности полупроводниковой пластины остается тонкий слой закристализовавшегося диффузанта (то бишь фосфора). Поэтому ни нанесение капель спиртового раствора, ни напыление раствора из пульверизатора не обеспечивают в итоге однородного по толщине слоя диффузанта, а следовательно, и строгого контроля количества соединения легирующего элемента в слое на единице площади поверхности.

DSP007 пишет:

Насчет силоксанов- ну если Вам углерод не помешает- почему бы нет?

Вроде как и можно попробовать, но возникает вопрос в раствор состава ТЭОС (тетроксисилан)+спирт(скорее всего этанол или изопропанол)+чуть-чуть H2O что можно добавить фосфорсодержащего: чтобы и фосфора содержалось нормально в этом соединении и одновременно температура разложения его была невелика..........может, как говорит chemlab, действительно попробовать в абс. этаноле растворить красный фосфор и уже этот готовый раствор вносить в систему ТЭОС/EtOH/H2O, из которого будет формироваться пленка.

offfday
Пользователь
Ранг: 13

30.11.2010 // 23:33:49

Слыхал я также про возможность анодного осаждения фосфорсодержащих пленок (в состав электролита точно входит этиленгликоль а остальное хрен пойми--буржуйский патент). Ввиду моего слабоватого знания элекитролиза, связанного с неметаллами а тем более и органикой, ниче придумать не могу....Может кто-нить разбирается в этом.????

Каталог ANCHEM.RU
Администрация
Ранг: 246

Bruker Corporation
Производство аналитического и научного оборудования

chemlab
Пользователь
Ранг: 409

01.12.2010 // 0:01:59

offfday пишет:
может, как говорит chemlab, действительно попробовать в абс. этаноле растворить красный фосфор и уже этот готовый раствор вносить в систему ТЭОС/EtOH/H2O, из которого будет формироваться пленка.

Растворимость фосфора резко упадет, выпадет осадок. Но, конечно, совсем немного останется, может этого и хватит.

chemlab
Пользователь
Ранг: 409

01.12.2010 // 0:05:39

offfday пишет:
Слыхал я также про возможность анодного осаждения фосфорсодержащих пленок (в состав электролита точно входит этиленгликоль а остальное хрен пойми--буржуйский патент).

С каждым патентом (а лучше группой) надо долго и тщательно разбираться, тогда толк может и будет, нахрапом буржуинов не одолеешь


Ответов в этой теме: 27 Страница: 1 2 3 «« назад \|\| далее »»	Ответ на тему

ПОСЛЕДНИЕ НОВОСТИ ANCHEM.RU: [ Все новости ]

Размещение рекламы / Контакты