Рентгеновский фотоэлектронный спектрометр
PHI 5400

Спектрометр предназначен для работы в области микроэлектроники, химии, биохимии, материаловедения. Основное достоинство прибора применение 7-ми линзовой оптической системы на входе в полусферический анализатор, что позволяет анализировать малые площади образца (от 200 мкм до 3х8 мм).
По требованию заказчика, в модель 5400 может быть установлен кварцевый рентгеновский монохроматор. Кристаллическое зеркало монохроматора дает возможность достичь ширины линии рентгеновского излучения 0,2 эВ, что позволяет разрешить спин-дуплет 2-р линии кремния с расщеплением 0,31 эВ.
Высокое разрешение прибора позволяет определить химическое состояние элементов.
Для исследования непроводящих материалов имеется эффективная система нейтрализации заряда с помощью низковольтной электронной пушки.
В состав прибора входит двуханодный рентгеновский источник с Mg и Al анодами.
Наличие ионной пушки для распыления образца в сочетании с малой областью анализа позволяет снимать достаточно глубокие профили распределения материала по толщине пленки.