| Российский химико-аналитический
портал |
химический анализ и аналитическая химия в фокусе внимания ::: портал химиков-аналитиков ::: выбор профессионалов |
 |
|
| ANCHEM.RU » Форумы » 4. Химический форум ... |
 |
фосфатирование (фосфорирование) кремниевой пластины >>>
|
 |
| Автор | Тема: фосфатирование (фосфорирование) кремниевой пластины | |||||
|
offfday Пользователь Ранг: 13 |
 23.11.2010 // 23:02:02
Подскажите пожалуйста, возможно ли электрохимическое (или химическое) осаждение фосфорсодержащих соединений на поверхности кремниевой пластины (например в виде пленки). Возможно ли проведение фосфатирования кремниевой поверхности по аналогии тому, как это делается для металлических изделий (я имею ввиду образование пленки фосфорсодержащей соли на поверхности). Делается это для дальнейшей диффузии фосфора (при термическом отжиге). |
|||||
|
ANCHEM.RU Администрация Ранг: 246 |
||||||
|
varban VIP Member Ранг: 8699 |
24.11.2010 // 11:23:58
Эээ! Одно дело - фосфатная пленка на стальной детали, и совсем другое дело - легирование фосфором кремния. Фосфор != фостат Точно также, как и натрий и ион натрия существенно различаются. К тому же кремний реагирует с фосфорными кислотами почти что никак  Фосфорную кислоту вполне можно хранить в сосуде из кремния не хуже, чем в стеклянной бутылке.
|
|||||
|
woodpecker Пользователь Ранг: 423 |
24.11.2010 // 11:36:06
А по чему не производить отжиг кремниевых пластин в парах фосфора? Атмосферу подобрать инертную (азот, аргон, гелий или водород). |
|||||
|
DSP007 VIP Member Ранг: 2228 |
24.11.2010 // 12:07:37
Редактировано 1 раз(а) Уважаемый, вам надо смотреть технологию газовой эпитаксии применительно к производству полупроводниковых приборов. И называется сие не фосфатирование... Да, забыл предупредить о одной мелочи - фосфин (а вы его никак не обойдете) самовоспламеняющийся и смертельно ядовитый газ , хлориды фосфора правда не горючи , но тоже шибко ядовиты. |
|||||
|
offfday Пользователь Ранг: 13 |
24.11.2010 // 22:14:35
Как раз эту технологию (с применением фосфина) мы и используем. Эпитаксию в данном случае следует рассматривать как источник диффузионного легирования, причем не самый удобный и безопасный (особенно применительно к использованию фосфина и ему подобных). Исторически на первом этапе разработки метода диффузии из поверхностного источника для непосредственного нанесения на поверхность кремниевых пластин были использованы наиболее простые и доступные неорганические соединения, обладающие достаточной растворимостью в воде и в этиловом спирте: H3BO3, H3PO4, (NH4)3PO4, B2O3, Al(NO3)3 и т.д. Эта технология широко применялась в производстве силовых полупроводниковых приборов. Растворы кислот или солей распыляют на кремниевые пластины из пульверизатора, капают из пипетки или наносят методом погружения пластин в раствор. Затем пластины после кратковременной сушки (для испарения растворителя) подвергаются высокотемпературной обработке при 1000 ÷ 1300°С для проведения диффузии. Создание электронного слоя с использованием поверхностного источника на основе ортофосфорной кислоты осуществлялось обычно в два приема. На первой стадии на одну поверхность пластины наносится две-три капли водного или спиртового раствора ортофосфорной кислоты, которые разгоняют по пластине с помощью центрифуги. Пластины высушивают и помещают в диффузионную установку, нагретую до температуры около 1050°С, на 20 – 30 мин (в зависимости от поверхностной концентрации акцепторов). После этого пластины извлекают из диффузионной установки, протравливают в плавиковой кислоте, а затем промывают в деионизованной воде, высушивают и помещают в диффузионную печь, нагретую до 1150 – 1250°С, где выдерживают заданное время. Эти методы нанесения диффузанта обладают высокой производительностью, требуют несложного технологического оборудования. Диффузия проводится в открытой трубе, чаще всего на воздухе. Данные методы позволяют получать как низкие, так и высокие концентрации легирующей примеси, причем низкие концентрации – в одноступенчатом режиме без последующей разгонки. Нанесение диффузанта в виде растворов неорганических соединений на поверхность кремния дает возможность регулировать поверхностную концентрацию бора и фосфора в пределах 1017 ÷ 1021 см−3 в основном за счет изменения концентрации раствора. Однако растворы простых неорганических соединений не обладают пленкообразующей способностью, и после испарения растворителя на поверхности полупроводниковой пластины остается тонкий слой закристализовавшегося диффузанта. Поэтому ни нанесение капель спиртового раствора, ни напыление раствора из пульверизатора не обеспечивают в итоге однородного по толщине слоя диффузанта, а следовательно, и строгого контроля количества соединения легирующего элемента в слое на единице площади поверхности. В результате разброс величины поверхностного сопротивления при использовании этих источников диффузии может достигать 200 % и более как в пределах поверхности одной пластины, так и между пластинами. Исходя из вышенаписанного и возникла данная тема форума. И думаю, что подобрать пленкообразующий состав реально |
|||||
|
offfday Пользователь Ранг: 13 |
24.11.2010 // 22:39:08
Пленка должна быть не обязательно фосфатная, если Вам ужэ она так не нравится, то возьмем пленку с содержанием фосфида. А то что кремний слабо реагнирует с фосфорной кислотой-это только плюс |
|||||
|
Каталог ANCHEM.RU Администрация Ранг: 246 |
|
|||||
|
DSP007 VIP Member Ранг: 2228 |
26.11.2010 // 20:09:22
Ок. Значит вы оказывается не ленивый студент. И даже не очередной Аспид. Подробное объяснение задачи меняет дело. Никакие фосфаты металлов Вам не подходят, поскольку ионы металлов имеют мало электронов и будет немеренно лишних дырок. Нужно что -то такое что не пыталось бы кристаллизоваться и могло "упариться до конца" Таким образом мы возвращаемся к фосфорной кислоте. |
|||||
|
offfday Пользователь Ранг: 13 |
26.11.2010 // 23:21:54
Редактировано 1 раз(а) Пользователь удалил свое сообщение |
|||||
|
offfday Пользователь Ранг: 13 |
26.11.2010 // 23:49:53
Редактировано 2 раз(а) Пользователь удалил свое сообщение |
|||||
|
offfday Пользователь Ранг: 13 |
27.11.2010 // 0:03:36
Наверно надо искать полимерный фосфорсодержащий диффузант...... |
|||||
|
chemlab Пользователь Ранг: 409 |
27.11.2010 // 21:18:13
А лучше к полифосфорной или ее гомогенной смеси с P2O5, возможно придется обработать не один раз. |
| |
||
|
Ответов в этой теме: 27
|
||
| ЖУРНАЛ | ЛАБОРАТОРИИ | ЛИТЕРАТУРА | ОБОРУДОВАНИЕ | РАБОТА | КАЛЕНДАРЬ | ФОРУМ |
| Copyright © 2002-2022 «Аналитика-Мир профессионалов» |
|
Размещение рекламы / Контакты |
[]
