Научное приборостроение, 2000, Том 10 N1, Стр. 3–13
Количественная растровая электронная микроскопия материалов и структур
С. Г. Конников
Санкт-Петербургский государственный технический университет
Растровая электронная микроскопия — современный метод диагностики материалов и структур твердотельной электроники. Приводится краткая историческая справка о создании и совершенствовании РЭМ. Рассматривается природа сигналов, генерируемых и регистрируемых в РЭМ, и их информативность. Иллюстрируются некоторые примеры применения РЭМ.