Научное приборостроение, 2000, Том 10 N1, Стр. 19–24
Развитие методики молекулярно-пучковой эпитаксии в Институте аналитического приборостроения РАН
В. Н. Петров, Н. К. Поляков, В. Н. Демидов, Н. П. Корнеева, Г. Э. Цырлин
Институт аналитического приборостроения РАН, Санкт-Петербург
В работе приведен исторический обзор создания установок молекулярно-пучковой эпитаксии серии ЭП в НТО АН СССР. Представлены полученные в Лаборатории эпитаксиальных технологий ИАнП РАН за 1993–1999 годы научные результаты по теоретическим и экспериментальным исследованиям процессов эпитаксиального роста. Представлены проведенные разработки по усовершенствованию ростовой аппаратуры: комплекс для визуализации и компьютерной обработки картин ДБЭО, система автоматизации процессов роста. Дан прогноз перспективам дальнейшего развития аппаратуры и использования методики МПЭ.