Научное приборостроение, 2000, Том 10 N1, Стр. 52–56
К проблеме формирования субмикронных электронных зондов с высокой плотностью мощности
В. Д. Гелевер, В. А. Жуков, В. Э. Птицын
Институт аналитического приборостроения РАН, Санкт-Петербург
Показана взаимосвязь между электронной яркостью зонда, сформированного электронно-оптической системой, и отношением диаметра сформированного зонда к диаметру кроссовера (в пушке с термоэмиссионным катодом) или же к диаметру виртуального катода (в пушке с термополевым катодом). Проведены расчеты некоторых параметров зондов с высокой плотностью мощности, сформированных электронно-оптическими системами с термоэмиссионными и термополевыми катодами.